一种曝光机自动上下料装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种曝光机自动上下料装置,包括支撑台、升降单元、安装块、移动单元和真空单元;支撑台:所述支撑台的顶面设有成品收集槽和未成品收集槽;升降单元:所述升降单元的背板与支撑台右侧顶面的滑孔滑动连接,所述安装块固定在背板的顶端;移动单元:所述移动单元安装在安装块的侧面;真空单元:所述真空单元安装在移动单元的底部;其中:还包括控制器,所述控制器固定在支撑台的侧面,所述控制器的输入端与外部电源的输出端电连接,进一步的,本曝光机自动上下料装置,减少了上下料的速度,提高了生产效率,降低了生产成本,可靠性高,使用寿命长。
基本信息
专利标题 :
一种曝光机自动上下料装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922197023.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-12-10
授权号 :
CN211628004U
授权日 :
2020-10-02
发明人 :
王群冯梦飞孙行
申请人 :
江苏九迪激光装备科技有限公司
申请人地址 :
江苏省徐州市邳州市岔河镇岔河电子产业园江苏九迪激光装备科技有限公司
代理机构 :
北京汇捷知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
李宏伟
优先权 :
CN201922197023.7
主分类号 :
G03F7/20
IPC分类号 :
G03F7/20 H05K3/06
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2020-10-02 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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