一种便于控制抛光盘温度的化学机械抛光机
授权
摘要
本实用新型公开了一种便于控制抛光盘温度的化学机械抛光机，包括床身座、转台连接件、抛光盘、电机装置、抛光液喷射系统以及用于固定工件的工件轴，抛光盘与转台连接件之间设有循环回路盘，抛光盘内设有多个用于采集抛光盘温度的温度传感器，循环回路盘设有循环进水管和循环出水管，循环进水管和循环出水管贯穿转台连接件和电机装置的芯轴，电机装置的芯轴端部轴向连接双通道旋转接头，双通道旋转接头的两个出水口分别通过管道连接到用于加热或冷却循环水的温控机，温控机、循环进水管、循环出水管和循环回路盘构成循环回路。与现有技术相比，本实用新型能够通过循环回路盘与抛光盘进行热交换从而实现直接控制抛光盘温度，控温效果好。
基本信息
专利标题 ：
一种便于控制抛光盘温度的化学机械抛光机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922202944.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-11
授权号 ：
CN211193456U
授权日 ：
2020-08-07
发明人 ：
赵惠英曹明琛张成瑞鲁斌赵家宁刘孟奇赵凌宇包荣振杨凯白金峰赵怀友
申请人 ：
北京微纳精密机械有限公司
申请人地址 ：
北京市朝阳区望京新兴产业区利泽中园二区208号1号楼1418室
代理机构 ：
北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
汤东凤
优先权 ：
CN201922202944.8
主分类号 ：
B24B37/34
IPC分类号 ：
B24B37/34 B24B37/11 B24B55/02
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置；附件
B24B37/34
附件
法律状态
2020-08-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
