一种氮化铝陶瓷复合基板结构

授权

摘要

本申请公开了一种氮化铝陶瓷复合基板结构，包括：氮化铝陶瓷基板、第一保护膜、第二保护膜以及NiCr金属电路，所述第一保护膜沉积于所述氮化铝陶瓷基板上，所述第二保护膜沉积于所述第一保护膜上，所述NiCr金属电路通过电子束蒸发镀膜的方式蒸镀在所述第二保护膜上；其中，第一保护膜包括钛膜。本申请在沉积第二保护膜之前先在氮化铝陶瓷基板表面沉积一钛膜，使得钛膜作为氮化铝陶瓷基板和第二保护膜之间的粘附层，从而增加了氮化铝陶瓷基板与第二保护膜之间的粘附性；本申请在显影过程氮化铝陶瓷基板的表面与碱性溶液不接触，避免了氮化铝陶瓷基板的表面腐蚀，不影响后续的NiCr金属和氮化铝陶瓷表面的粘附性及最终产品性能。

基本信息

专利标题：

一种氮化铝陶瓷复合基板结构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922230674.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-11

授权号：

CN211471247U

授权日：

2020-09-11

发明人：

汪鹏徐艳

申请人：

上海矽安光电科技有限公司

申请人地址：

上海市徐汇区桂平路680号33幢8B部位814室

代理机构：

上海百一领御专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

王奎宇

优先权：

CN201922230674.1

主分类号：

C04B41/82

IPC分类号：

C04B41/82 C04B41/52