本实用新型公开了一种薄膜腔声谐振器，包括：硅衬底，所述硅衬底上设有空腔；电极层，包括第一电极层和第二电极层，所述第一电极层设为石墨烯薄膜，所述第一电极层和第二电极层依次设在所述硅衬底上方，所述第一电极层和第二电极层的水平面积均小于所述硅衬底的水平面积，所述第一电极层与第二电极层在水平面上的正投影只在所述空腔处相重合；压电层，设在所述第一电极层与第二电极层之间。本实用新型采用石墨烯薄膜作为电极层，减小电极厚度，可提升谐振器的Q值和有效机电耦合系数，从而提高信号转换效率。