成膜装置
授权
摘要
本实用新型提供一种成膜装置。包括:腔室;挡板,所述挡板设置在所述腔室的内部;以及挡板旋转机构,所述旋转挡板机构用于使所述挡板旋转,其特征在于,所述挡板旋转机构具备:旋转轴,所述旋转轴在所述腔室的内部与所述挡板连接,并能够从所述腔室的外部使所述挡板旋转,所述旋转轴能够沿顺时针方向及逆时针方向旋转;以及弹性部件,所述弹性部件包括第一弹性构件和第二弹性构件,所述第一弹性构件和所述第二弹性构件在所述旋转轴上沿所述旋转轴的轴线方向并列地设置,所述旋转轴由所述第一弹性构件向所述顺时针方向施力并由所述第二弹性构件向所述逆时针方向施力,所述旋转轴利用所述第一弹性构件和所述第二弹性构件使所述挡板在规定的位置静止。
基本信息
专利标题 :
成膜装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922374505.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-12-25
授权号 :
CN211620608U
授权日 :
2020-10-02
发明人 :
山根彻小川雄太斋藤哲郎
申请人 :
佳能特机株式会社
申请人地址 :
日本新泻县
代理机构 :
中国贸促会专利商标事务所有限公司
代理人 :
邓宗庆
优先权 :
CN201922374505.5
主分类号 :
C23C14/52
IPC分类号 :
C23C14/52
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/52
观察镀覆工艺的装置
法律状态
2020-10-02 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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