一种表面微波等离子体镀膜装置

授权

摘要

本实用新型公开了一种表面微波等离子体镀膜装置，包括依次连通的等离子发生室、混合室和沉积室；等离子体发生室为一方形腔体，其中设有2‑18根平行设置的石英玻璃管，石英玻璃管的两端面各设有一连接口；等离子体发生室的两侧各设一微波发生装置，每个微波发生装置均通过一微波功率调节器连接多个同轴波导，同轴波导的数量与石英玻璃管的数量相等且一一连接于石英玻璃管的连接口上；等离子发生室的顶面上连接有工作气体进口。本实用新型的表面微波等离子体镀膜装置，该镀膜装置能够实现大面积的纳米薄膜，提高了生产效率，并且镀膜的均匀性好。

基本信息

专利标题：

一种表面微波等离子体镀膜装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922387644.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-26

授权号：

CN211199400U

授权日：

2020-08-07

发明人：

王海侠朱雨

申请人：

欧钛鑫光电科技（苏州）有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市相城经济开发区观塘路1号西交科技园C座310室

代理机构：

苏州睿昊知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

马小慧

优先权：

CN201922387644.1

主分类号：

C23C16/511

IPC分类号：

C23C16/511 C23C16/455 B82Y40/00