一种硅片腐蚀过程中化学液温度恒温控制系统，涉及半导体材料生产技术领域，包括恒温槽、腐蚀槽、热水槽以及冷水槽，腐蚀槽所在位置高于恒温槽，恒温槽和腐蚀槽之间通过根管道连通，其中一根管道上设有化学液泵，用于从恒温槽向腐蚀槽输送化学液，另一根管道用于腐蚀槽内的化学液依靠重力流回恒温槽，恒温槽内设有温度调节管。本实用新型有益效果：通过控制恒温槽内化学液温度，经过化学液泵循环均匀搅拌，最终有效的保证腐蚀槽内的化学液各区间温度恒定，同时大大节省腐蚀槽的空间，充分利用腐蚀槽工作空间。