一种用于蚀刻机生产线的喷淋装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于蚀刻机生产线的喷淋装置，涉及铝基板蚀刻加工技术领域，包括喷淋箱体、喷淋水泵以及控制装置，喷淋箱体内设置有传输导轨和喷淋装置，喷淋装置包括第一喷淋单元和第二喷淋单元，第一喷淋单元包括第一喷嘴和多个第二喷嘴，第二喷淋单元包括第三喷嘴和多个第四喷嘴；控制装置包括入料厚度测试仪、出料厚度测试仪以及PLC控制器，通过使第一喷淋单元和第二喷淋单元两端部的喷嘴至铝基板的间距小于其中部的喷嘴至铝基板的间距，使单位时间内到达铝基板板边的蚀刻液流量增加，从而实现将铝基板板边残铜完全蚀刻；通过检测铝基板蚀刻前后的厚度差来改变变频器的频率来自动调整喷淋水泵的流量来调整喷淋量来提高蚀刻效率。
基本信息
专利标题 ：
一种用于蚀刻机生产线的喷淋装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922450404.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-30
授权号 ：
CN212175047U
授权日 ：
2020-12-18
发明人 ：
赖荣红陈华坤何胜太
申请人 ：
江西鸿宇电路科技有限公司
申请人地址 ：
江西省赣州市信丰县工业园区绿源大道
代理机构 ：
南昌金轩知识产权代理有限公司
代理人 ：
邓澄宇
优先权 ：
CN201922450404.1
主分类号 ：
C23F1/08
IPC分类号 ：
C23F1/08
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23F
非机械方法去除表面上的金属材料；金属材料的缓蚀；一般防积垢；至少一种在C23大类中所列的方法及至少一种在C21D、C22F小类或者C25大类中所列的方法的多步法金属材料表面处理
C23F1/00
金属材料的化学法蚀刻
C23F1/08
装置，如照相印刷制版装置
法律状态
2020-12-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
