本实用新型公开了一种半导体温控装置制冷系统，包括压缩机、冷凝器、蒸发器和节流组件，所述节流组件包括电磁阀、电子膨胀阀和热力膨胀阀，所述电磁阀连接电子膨胀阀，所述电子膨胀阀连接热力膨胀阀，所述热力膨胀阀连接蒸发器的制冷剂入口，本制冷系统还包括回热器、循环系统和冷却水循环系统。通过电磁阀、电子膨胀阀和热力膨胀阀共同控制制冷剂的流量，提高了系统控制的精度，电磁阀的使用可以确保完全关闭管路，避免漏掉的制冷剂再次蒸发吸热造成温度波动；电子膨胀阀可以精准控制制冷剂的流量，热力膨胀阀有利于制冷剂在蒸发器中的蒸发此外，热力膨胀阀可以增大电子膨胀阀的出口压力，减小阀门的压差，提高阀件的使用寿命。