本发明涉及一种用于测量多层的基底(1,1',1'')的方法，基底尤其是具有带有临界尺寸的至少一个结构(7,7',7'',7''',7^IV,7^V)，基底尤其是具有带有临界尺寸的表面结构(7,7',7'',7''',7^IV,7^V)，其特征在于，方法至少具有以下步骤，尤其是以下过程：‑制造(110)具有多个层(2,3,4,5,6,6',6'')的基底(1,1',1'')，基底尤其是具有结构(7,7',7'',7''',7^IV,7^V)，尤其是在最上层(6,6',6'')的表面(6o,6'o,6''o)上具有结构(7,7',7'',7''',7^IV,7^V)，其中，层和尤其是结构的尺寸是已知的，‑利用至少一种测量技术测量(120)基底(1,1',1'')，和尤其是结构(7,7',7'',7''',7^IV,7^V)，‑利用来自基底(1,1',1'')的测量的测量结果创建(130)基底的模拟，‑将测量结果与来自基底(1,1',1'')的模拟的模拟结果进行比较(140)，‑如果测量结果与模拟结果存在偏差，则优化模拟(130)并利用来自基底(1,1',1'')的测量的测量结果重新创建(130)基底的模拟，或者如果测量结果相应于模拟结果，则计算(150)另外的基底的参数。