PECVD镀膜设备的控制装置和控制方法

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摘要

本发明公开了一种PECVD镀膜设备的控制装置和控制方法。该装置包括控制电路；控制电路包括控制单元、数字量输入模组、通信模组和数字量输出模组；数字量输入模组用于获取PECVD镀膜设备的数字状态信号；控制单元与数字量输入模组连接，用于根据数字状态信号形成数字控制信号；数字量输出模组与控制单元连接，用于根据数字控制信号调节PECVD镀膜设备的运行状态；控制单元通过通信模组与PECVD镀膜设备的激发等离子动力源模组、腔室压力调节和测量模组连接，控制单元根据配方参数控制激发等离子动力源模组和腔室压力调节和测量模组的状态调节PECVD镀膜设备的运行状态，提高了PECVD镀膜设备的使用效率和控制精度。

基本信息

专利标题：

PECVD镀膜设备的控制装置和控制方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN111286725A

申请号：

CN202010175155.4

公开（公告）日：

2020-06-16

申请日：

2020-03-13

授权号：

CN111286725B

授权日：

2022-04-22

发明人：

邓必龙卢慧鹏

申请人：

龙鳞（深圳）新材料科技有限公司

申请人地址：

广东省深圳市坪山区坪山街道六联社区坪山大道2007号创新广场裙楼202

代理机构：

北京品源专利代理有限公司

代理人：

孟金喆

优先权：

CN202010175155.4

主分类号：

C23C16/52

IPC分类号：

C23C16/52 C23C16/50