光阻喷嘴更换装置

授权

摘要

本申请涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种光阻喷嘴更换装置。光阻喷嘴更换装置包括：轴套组件，轴套组件包括同轴设置的花键外轴套和内嵌轴套，内嵌轴套内部中空，内嵌在花键外轴套中；在周向上内嵌轴套与花键外轴套啮合，在轴向上内嵌轴套能够相对于花键外轴套作伸缩动作；传动底座，传动底座设于轴套组件的下端，与内嵌轴套的下端传动连接，通过带动内嵌轴套转动从而带动花键外轴套转动，并能够推动内嵌轴套在轴向上相对于花键外轴套作伸缩动作。本申请提供了一种阻喷嘴更换装置，可以解决相关技术中需要通过手动更换光阻喷嘴效率低的问题。

基本信息

专利标题：

光阻喷嘴更换装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN111645031A

申请号：

CN202010465029.2

公开（公告）日：

2020-09-11

申请日：

2020-05-28

授权号：

CN111645031B

授权日：

2022-04-05

发明人：

闻旭王琦赵春雨李华张浩

申请人：

华虹半导体（无锡）有限公司

申请人地址：

江苏省无锡市新吴区新洲路30号

代理机构：

上海浦一知识产权代理有限公司

代理人：

戴广志

优先权：

CN202010465029.2

主分类号：

B25B27/14

IPC分类号：

B25B27/14