一种碳化硅抛光液及其应用
授权
摘要
本发明提供了一种碳化硅抛光液及其应用，属于碳化硅抛光液领域。本发明提供了一种碳化硅抛光液，使用非水溶剂，利用非水溶剂代替水，避免了抛光液中各组分的反应活化能、配位性能和氧化还原电位等特性都受制于水性溶液的束缚的问题，本发明提供的碳化硅抛光液具有良好的金刚石悬浮性，能够提高抛光效率，且无挥发性问题，易于长期储存，是理想的半导体化合物晶圆制造亚纳米级光洁度的抛光液。
基本信息
专利标题 ：
一种碳化硅抛光液及其应用
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111518478A
申请号 ：
CN202010541121.2
公开（公告）日 ：
2020-08-11
申请日 ：
2020-06-15
授权号 ：
CN111518478B
授权日 ：
2022-04-05
发明人 ：
胡静泉刘和欣
申请人 ：
宁波日晟新材料有限公司
申请人地址 ：
浙江省宁波市余姚市丈亭镇龙丰村
代理机构 ：
北京高沃律师事务所
代理人 ：
赵晓琳
优先权 ：
CN202010541121.2
主分类号 ：
C09G1/02
IPC分类号 ：
C09G1/02
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C09
染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用
C09G
抛光组合物；滑雪屐蜡
C09G1/00
抛光组合物
C09G1/02
含有磨料或研磨剂
法律状态
2022-04-05 ：
授权
2020-09-04 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C09G 1/02
申请日 : 20200615
申请日 : 20200615
2020-08-11 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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