本发明涉及一种气体微小流量控制器以及供给装置，该流量控制器（6）包括前端进气、后端出气的壳体（61）以及设在壳体（61）内部并从前到后依次相连的加热装置、记忆合金弹簧（66）和密封垫，密封垫的后端与壳体（61）内壁上向内凸起的出气接口相连。本发明流量控制器结构简单、成本低，并且有效利用记忆合金随温度变化其结构发生变化的特性，调节密封垫与出气接口之间的压紧程度，改变流量控制器内密封腔的开启程度进而实现气体微流量的微小调节，可控度高，并且能够满足下游对气体微流量、高精度的要求。使用上述流量控制器的流量供给装置同样具有以上优点，其中的稳压减流器采用小径导气管和外壁缠绕加热丝的组合，结构简单、成本低。