一种红外探测器及其制备方法
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摘要
本发明公开了一种红外探测器及其制备方法，包括：光电二极管，包括上表面和下表面；薄膜，设置于光电二极管的上表面；纳米点，设置于薄膜的表面；第一电极，设置于纳米点的表面；纳米柱阵列，设置于光电二极管的下表面；第二电极，包括与纳米柱阵列相配合连接的纳米孔阵列，第二电极通过纳米孔阵列连接到光电二极管的下表面。金属纳米孔阵列具有表面等离激元增强效应，可以增强对红外光的吸收效率，根据不同的吸收波段，并且可以调节孔径及其分布，从而达到最佳效果。纳米点具有较为显著的量子效应，可提高红外探测器对红外光的吸收效率和灵敏度。
基本信息
专利标题 ：
一种红外探测器及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112071926A
申请号 ：
CN202010875005.4
公开（公告）日 ：
2020-12-11
申请日 ：
2020-08-27
授权号 ：
CN112071926B
授权日 ：
2022-04-22
发明人 ：
杨为家邱晨吴质朴何畏
申请人 ：
深圳市奥伦德元器件有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市龙岗区龙城街道黄阁路天安数码创业园1号厂房B座3楼
代理机构 ：
广州嘉权专利商标事务所有限公司
代理人 ：
孙浩
优先权 ：
CN202010875005.4
主分类号 ：
H01L31/0352
IPC分类号 ：
H01L31/0352 H01L31/103 H01L31/107 H01L31/109 H01L31/18 B82Y30/00 B82Y40/00 G02B5/00
法律状态
2022-04-22 ：
授权
2020-12-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 31/0352
申请日 : 20200827
申请日 : 20200827
2020-12-11 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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