一种非制冷红外光谱芯片及其制备方法、红外光谱仪
实质审查的生效
摘要

本申请公开了一种非制冷红外光谱芯片及其制备方法和红外光谱仪,包括多个不同的第一光谱像元,每个第一光谱像元包括由下至上叠加的第一悬空像元结构和第二悬空像元结构;第二悬空像元结构包括微结构层,微结构层包括多个使第一光谱像元的光谱响应为宽带响应的特征微结构。本申请中的红外光谱芯片包括多个第一光谱像元,第一光谱像元包括第一悬空像元结构和第二悬空像元结构,且第二悬空像元结构包括多个特征微结构,使得第一光谱像元的光谱响应为宽带响应;由于本申请中直接在红外光谱芯片上设置特征微结构,降低入射光在红外探测器上的串扰,提升光谱测量精度,同时还可以提升红外探测器的良率,即提升红外光谱仪的良率。

基本信息
专利标题 :
一种非制冷红外光谱芯片及其制备方法、红外光谱仪
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114279565A
申请号 :
CN202111645245.6
公开(公告)日 :
2022-04-05
申请日 :
2021-12-29
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
李君宇王丹赖芸虞传庆王鹏甘先锋董珊陈文礼王宏臣
申请人 :
烟台睿创微纳技术股份有限公司;睿创微纳(无锡)技术有限公司
申请人地址 :
山东省烟台市烟台开发区贵阳大街11号
代理机构 :
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 :
薛晨光
优先权 :
CN202111645245.6
主分类号 :
G01J3/28
IPC分类号 :
G01J3/28  G01J3/02  B81B7/00  B81B7/02  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01J
红外光、可见光、紫外光的强度、速度、光谱成分,偏振、相位或脉冲特性的测量;比色法;辐射高温测定法
G01J3/00
光谱测定法;分光光度测定法;单色器;测定颜色
G01J3/28
光谱测试
法律状态
2022-04-22 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01J 3/28
申请日 : 20211229
2022-04-05 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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