一种用于柔性基底沉积薄膜的弹性夹具及其使用方法
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摘要
本发明公开了一种用于柔性基底沉积薄膜的弹性夹具，包括底板，底板上设置有凹槽，凹槽一端设置有固定装置，另一端设置有螺杆，并且凹槽内设置有可自由移动的滑动装置；滑动装置一侧通过弹簧与固定装置连接，螺杆通过螺孔接入凹槽内，与滑动装置另一侧固定连接；固定装置包括第一滑块、上固定板和下固定板，第一滑块设置于凹槽内，螺栓依次穿过上固定板、下固定板、第一滑块实现上固定板与下固定板之间的紧固连接；上固定板底面与下固定板顶面相对位置均设置有胶带贴敷区，胶带贴敷区位于远离弹簧一侧。本发明公开的一种用于柔性基底沉积薄膜的弹性夹具，用于固定与拉伸柔性基底，提高柔性基底均匀性。
基本信息
专利标题 ：
一种用于柔性基底沉积薄膜的弹性夹具及其使用方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112080730A
申请号 ：
CN202010896820.9
公开（公告）日 ：
2020-12-15
申请日 ：
2020-08-31
授权号 ：
CN112080730B
授权日 ：
2022-06-10
发明人 ：
付秀华于雪冰张静
申请人 ：
长春理工大学
申请人地址 ：
吉林省长春市卫星路7089号长春理工大学
代理机构 ：
北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
王攀
优先权 ：
CN202010896820.9
主分类号 ：
C23C14/50
IPC分类号 ：
C23C14/50
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2022-06-10 ：
授权
2021-01-01 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/50
申请日 : 20200831
申请日 : 20200831
2020-12-15 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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