掩模盒盖固定夹及掩模盒
实质审查的生效
摘要
本申请公开了一种掩模盒盖固定夹及掩模盒,掩模盒盖固定夹包括依次连接且一体成型的上壁板、中间壁板和下壁板,所述上壁板的外侧边与所述下壁板的外侧边之间形成所述掩模盒盖固定夹的开口,所述开口的尺寸小于所述中间壁板的高度。本申请实施例提供的掩模盒盖固定夹,用于固定掩模盒的顶盖板,固定更加牢固,顶盖板不能轻易脱离,从而避免了由于顶盖板脱离固定导致的前门板不能完全打开的问题,进一步避免了由于前门板不能完全打开导致的在通过掩模载卸臂从掩模盒中取出掩模时容易发生的前门板碰触掩模造成掩模损坏的问题,大大降低了在取掩模时掩模的破损率。
基本信息
专利标题 :
掩模盒盖固定夹及掩模盒
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114326293A
申请号 :
CN202011079687.4
公开(公告)日 :
2022-04-12
申请日 :
2020-10-10
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
梁贤石金成昱金帅炯贺晓彬刘金彪李亭亭
申请人 :
中国科学院微电子研究所;真芯(北京)半导体有限责任公司
申请人地址 :
北京市朝阳区北土城西路3号
代理机构 :
北京辰权知识产权代理有限公司
代理人 :
刘广达
优先权 :
CN202011079687.4
主分类号 :
G03F1/66
IPC分类号 :
G03F1/66
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F1/00
用于图纹面的照相制版的原版,例如掩膜,光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其专门适用于此的容器;其制备
G03F1/66
专门适用于掩膜,空白掩膜或薄膜的容器;其制备
法律状态
2022-04-29 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 1/66
申请日 : 20201010
申请日 : 20201010
2022-04-12 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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