本发明提供一种用于半导体器件瞬态热测试的电压采集方法、装置、系统及介质，所述半导体器件进入工作状态，其两端具有电压，等待开始所述瞬态热测试；用户根据所述半导体器件的实际电压值，在上位机中选择相应的参考电压值和电压量程；所述方法包括接收所述参考电压值及电压量程，据以生成所述实际电压值的取值范围；控制采集模块采集所述半导体器件的电压信号，且将实际电压值符合所述取值范围的电压信号加以存储，并传输至所述上位机。本发明的用于半导体器件瞬态热测试的电压采集方法、装置、系统及介质，实现了以不同的采样率对电压信号的采集，并且输入电压量程可变，通过指定参考电压和选择量程实现了高精度的采样。