利用凸起结构降低声阻抗的体声波谐振器、滤波器及电子设备
实质审查的生效
摘要
本发明涉及一种体声波谐振器，包括：基底；声学镜；底电极；顶电极；和压电层，设置在底电极与顶电极之间；设置在谐振器的有效区域内的凸起结构，所述凸起结构沿有效区域的边缘设置，其中：凸起结构、声学镜、顶电极、压电层和底电极在谐振器的厚度方向上的重叠区域构成有效区域的边缘区，有效区域在水平方向上处于有效区域边缘部内侧的区域为有效区域的中心区；谐振器在中心区内的膜层结构具有第一声阻抗，谐振器在边缘区内的膜层结构具有第二声阻抗，凸起结构具有预定厚度以使得第二声阻抗小于第一声阻抗。本发明还涉及一种具有上述谐振器的滤波器以及具有该滤波器或谐振器的电子设备。
基本信息
专利标题 ：
利用凸起结构降低声阻抗的体声波谐振器、滤波器及电子设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114553169A
申请号 ：
CN202011330090.2
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2020-11-24
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
张孟伦庞慰宁远
申请人 ：
诺思（天津）微系统有限责任公司
申请人地址 ：
天津市滨海新区开发区西区新业五街27号
代理机构 ：
北京金诚同达律师事务所
代理人 ：
汤雄军
优先权 ：
CN202011330090.2
主分类号 ：
H03H9/02
IPC分类号 ：
H03H9/02 H03H9/05 H03H9/56
法律状态
2022-06-14 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H03H 9/02
申请日 : 20201124
申请日 : 20201124
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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