一种太阳能硅片的定位校准系统及其定位校准方法
公开
摘要
本发明提供了一种太阳能硅片的定位校准系统及其定位校准方法，包括上位机、定位装置及待测太阳能硅片，所述上位机与所述定位装置通信连接并控制所述定位装置，所述定位装置用于对所述待测太阳能硅片进行定位校准。本发明通过所述定位装置对待测太阳能硅片进行定位校准，实现了自动化校准，且提高了定位精度。
基本信息
专利标题 ：
一种太阳能硅片的定位校准系统及其定位校准方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114613712A
申请号 ：
CN202011446348.5
公开（公告）日 ：
2022-06-10
申请日 ：
2020-12-09
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
朱鹏程凌步军袁明峰冯高俊赵有伟滕宇孙月飞吕金鹏冷志斌
申请人 ：
江苏亚威艾欧斯激光科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市中国（江苏）自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区12幢401-73
代理机构 ：
上海光华专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
朱艳
优先权 ：
CN202011446348.5
主分类号 ：
H01L21/68
IPC分类号 ：
H01L21/68 H01L31/18
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/68
用于定位、定向或对准的
法律状态
2022-06-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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