一种新型晶圆探针台
授权
摘要
本实用新型涉及探针台技术领域,公开了一种新型晶圆探针台,包括:PCB夹具,用于可替换安装不同尺寸的PCB,所述PCB夹具包括至少一对卡座及用于安装所述卡座的支撑架,每对所述卡座分别设置于所述PCB相对的两侧壁,每对所述卡座之间的间距可调;探针夹具,用于安装探针;第一驱动机构,用于驱动所述探针夹具沿不同方向移动;相机夹具,用于安装相机;第二驱动机构,用于驱动所述相机夹具沿不同方向移动;所述PCB的一板面对应设置一个以上所述第一驱动机构,以及一个以上所述第二驱动机构。实现了晶圆探针台检测不同尺寸的PCB,节约企业成本,产品多样化、成本低,满足不同客户需求。
基本信息
专利标题 :
一种新型晶圆探针台
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020178088.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-02-17
授权号 :
CN211741377U
授权日 :
2020-10-23
发明人 :
梁建罗雄科
申请人 :
上海泽丰半导体科技有限公司
申请人地址 :
上海市徐汇区田州路159号15单元1302室
代理机构 :
上海硕力知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
董磊
优先权 :
CN202020178088.7
主分类号 :
G01R1/067
IPC分类号 :
G01R1/067 G01R1/04 G01R31/28
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01R
测量电变量;测量磁变量
G01R1/00
包括在G01R5/00至G01R13/00或G01R31/00组中的各类仪器或装置的零部件
G01R1/02
一般结构零部件
G01R1/06
测量引线;测量探针
G01R1/067
测量探针
法律状态
2020-10-23 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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