一种新型晶圆探针台
授权
摘要
本实用新型涉及探针台技术领域，公开了一种新型晶圆探针台，包括：PCB夹具，用于可替换安装不同尺寸的PCB，所述PCB夹具包括至少一对卡座及用于安装所述卡座的支撑架，每对所述卡座分别设置于所述PCB相对的两侧壁，每对所述卡座之间的间距可调；探针夹具，用于安装探针；第一驱动机构，用于驱动所述探针夹具沿不同方向移动；相机夹具，用于安装相机；第二驱动机构，用于驱动所述相机夹具沿不同方向移动；所述PCB的一板面对应设置一个以上所述第一驱动机构，以及一个以上所述第二驱动机构。实现了晶圆探针台检测不同尺寸的PCB，节约企业成本，产品多样化、成本低，满足不同客户需求。
基本信息
专利标题 ：
一种新型晶圆探针台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020178088.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-02-17
授权号 ：
CN211741377U
授权日 ：
2020-10-23
发明人 ：
梁建罗雄科
申请人 ：
上海泽丰半导体科技有限公司
申请人地址 ：
上海市徐汇区田州路159号15单元1302室
代理机构 ：
上海硕力知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
董磊
优先权 ：
CN202020178088.7
主分类号 ：
G01R1/067
IPC分类号 ：
G01R1/067 G01R1/04 G01R31/28
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R1/00
包括在G01R5/00至G01R13/00或G01R31/00组中的各类仪器或装置的零部件
G01R1/02
一般结构零部件
G01R1/06
测量引线；测量探针
G01R1/067
测量探针
法律状态
2020-10-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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