光探针耦合装置和系统
授权
摘要
本申请公开了一种光探针耦合装置和系统。该光探针耦合装置包括:两个耦合机构和用于放置待测芯片的载物台;所述两个耦合机构对称设置在所述载物台的两侧;所述耦合机构包括多自由度驱动座、光纤夹具和用于传输光信号对所述待测芯片传输光信号的光纤,所述光纤夹持在所述光纤夹具上端,所述光纤夹具连接在所述多自由度驱动座上,以使所述多自由度驱动座驱动所述光纤夹具以多自由度移动,并使所述光纤接触或远离所述待测芯片。本申请可以解决相关技术中无法稳定地对芯片进行光的耦合监测的技术问题。
基本信息
专利标题 :
光探针耦合装置和系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020181731.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-02-17
授权号 :
CN211234513U
授权日 :
2020-08-11
发明人 :
巫海苍周颖聪宋一品梁寒潇
申请人 :
苏州极刻光核科技有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号纳米城西北区5幢102室
代理机构 :
北京卓唐知识产权代理有限公司
代理人 :
卜荣丽
优先权 :
CN202020181731.1
主分类号 :
G01D21/00
IPC分类号 :
G01D21/00 G01D11/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01D
非专用于特定变量的测量;不包含在其他单独小类中的测量两个或多个变量的装置;计费设备;非专用于特定变量的传输或转换装置;未列入其他类目的测量或测试
G01D21/00
未列入其他类目的测量或测试
法律状态
2020-08-11 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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