光子集成芯片测试系统探针卡微调装置及耦合装置

授权

摘要

本实用新型提供一种光子集成芯片测试系统探针卡微调装置，包括有垂直设置的第一角度调节机构与第二角度调节机构，所述微调装置可带动设置于所述微调装置上的探针卡在垂直的两个方向实现角度微调。本实用新型还提供一种光子集成芯片测试系统探针卡耦合装置，包括有微调装置以及与所述微调装置固定连接的主调节装置，主调节装置可实现对探针卡进行空间上三个方向的位置调整。基于以上各机构间的相互配合，可使得探针卡上每个探针均可良好的接触到光子集成芯片的焊垫或凸块，从而使得测试过程更加稳定，结果更加准确。

基本信息

专利标题：

光子集成芯片测试系统探针卡微调装置及耦合装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020672110.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-04-28

授权号：

CN212514886U

授权日：

2021-02-09

发明人：

李静婷赵复生赵俊洋

申请人：

天津蓝鳍科技有限公司;纤瑟（天津）新材料科技有限公司

申请人地址：

天津市滨海新区开发区信环西路19号泰达服务外包产业园8号楼2层(天津滨海外包产业有限公司托管第3028号)

代理机构：

北京沁优知识产权代理有限公司

代理人：

周庆路

优先权：

CN202020672110.3

主分类号：

G01R31/28

IPC分类号：

G01R31/28 G01R1/073