本实用新型公开了电子级多晶硅筛分装置。该装置包括：第一筛分层至第四筛分层。采用本实用新型的电子级多晶硅筛分装置对硅块进行筛分，待筛分硅块通过硅块入口首先进入装置，然后依次经过第一至第四筛分层进行多级筛分，每级筛分过程中，通过各级筛板振动使粘附在硅块表面的硅粉与硅块分离，并通过惰性气体进气管路和各惰性气体进气口配合工作，将分离的硅粉从各硅粉出口排出。进一步地，经过多级筛分的硅块落入沉积板进行收集，第四筛分层中分离的硅粉可进入硅粉回收箱进行收集。由此，该电子级多晶硅筛分装置可以有效筛分去除硅块表面粘附的粉筛，工作效率高，筛分产品粒径分布在规格尺寸的中位径附近较为集中，离散度较低。