一种适用于丙基三甲氧基硅烷的真空蒸镀机
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摘要
本实用新型公开了一种适用于丙基三甲氧基硅烷的真空蒸镀机，第一壳体一端设有进口，第二壳体另一端与第二壳体连接，第一壳体内设有受热腔，油加热腔上方一侧设有进油口，油加热腔下方另一侧设有出油口，第一壳体与第二壳体之间设有隔板，受热腔与第二壳体之间设有第一出口，第二壳体上方设有加热块，隔板靠近第二壳体内部一侧设有温度传感器，第二壳体内部设有基板，基板下方设有挡板，第二壳体后端连接有第二出口，第二出口下方设有控制阀，控制阀下方设有真空排气泵，第一壳体与第二壳体下方两侧设有支撑腿。本实用新型在该真空蒸镀机内利用油加热和电加热两种热传导的方式，有效解决了低沸点的3‑(2,3‑环氧丙氧)丙基三甲氧基硅烷的真空镀的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种适用于丙基三甲氧基硅烷的真空蒸镀机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020250584.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-04
授权号 ：
CN211665165U
授权日 ：
2020-10-13
发明人 ：
陈卫明
申请人 ：
南通美韦德生命科学有限公司
申请人地址 ：
江苏省南通市海门市三星镇彦英村八组60号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202020250584.9
主分类号 ：
C23C14/12
IPC分类号 ：
C23C14/12 C23C14/26
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/06
以镀层材料为特征的
C23C14/12
有机材料
法律状态
2020-10-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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