一种具有双工位旋转载片的光刻机
授权
摘要
本实用新型公开了一种具有双工位旋转载片的光刻机，其结构包括机台、控制板、支撑架、激光发生盒、激光发射管、掩模台、投影镜框、双工位载片器，本实用新型将加工板放在机台表面凹槽处的双工位载片器上，第一载片台面与第二载片台面装配结构相同，放置槽表面旋转板作为加工板置放层使用，双工位能够有效提高载片操作性，转动杆啮合对嵌板后同步上提由安装轴、托片、阻块组合构成的支撑体，连接性较好且具有一定的缓冲性，活动上提的方式来改变旋转板的出料高度，转动时加工件保持中点轴位置固定，具有间隙活动特性，使得加工件的上下料操作灵活性大大提高，进而提高机台的工作效率。
基本信息
专利标题 ：
一种具有双工位旋转载片的光刻机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020379114.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-23
授权号 ：
CN212623564U
授权日 ：
2021-02-26
发明人 ：
骆玉蓉
申请人 ：
苏州百聪科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市高新区塘西路31号
代理机构 ：
北京艾皮专利代理有限公司
代理人 ：
姬春红
优先权 ：
CN202020379114.2
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2021-02-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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