本实用新型公开了一种多工位硅片光刻机，涉及硅片加工技术领域，具体为一种多工位硅片光刻机，包括硅片光刻机本体，所述硅片光刻机本体的底部固定安装有底座，所述底座的上表面固定安装有保护罩，所述保护罩位于硅片光刻机本体的外部，所述保护罩的两侧均铰接有罩门，所述罩门的中部固定连接有透明观察板。该多工位硅片光刻机，通过保护罩、罩门以及电动伸缩杆的配合使用，利用保护罩对硅片光刻机本体进行保护，可以避免在机器未使用时受到外界碰撞、灰尘的损坏，同时利用罩门可以将保护罩打开，进而便于硅片光刻机本体进行正常工作，配合电动伸缩杆使罩门自动升降，提高了该多工位硅片光刻机的使用便捷性。