采用过渡承接装置的光刻机硅片台双台交换系统，属于半导体制造装备技术领域。本实用新型含有运行于预处理工位的硅片台和运行于曝光工位的硅片台；在预处理工位和曝光工位上分别设有一个H型驱动单元，所述的H型驱动单元由双侧X向直线电机以及Y向直线电机组成，用于驱动硅片台在预处理工位和曝光工位上作X方向和Y方向运动。本实用新型的技术要点是在基台中间设置有两个过渡承接装置，过渡承接装置上安装有摩擦轮，当H型驱动单元与其精确对准时，靠摩擦轮的摩擦力，实现硅片台从预处理工位过渡到曝光工位。有效避免了导轨精密对接的问题，降低了系统结构的复杂性。