本实用新型公开一种光刻机硅片盛放盒，属于光刻机技术领域；包括盒体边框；盒体边框中部焊接有窗板架，窗板架上端固定连接有窗板，窗板与盒体边框上端边缘卡接，窗板表面开槽设置有窗槽；盒体边框内侧嵌入设置有抬升架，抬升架上表面排列有若干个硅片框，硅片框之间相邻设置有分隔页板，抬升架底端嵌接有衬板；盒体边框底端中部固定有抬升座，抬升座下端贯穿设置有轴头，轴头上端固定有套轴轴节，套轴轴节上端固定有螺杆，螺杆上端螺纹连接有连接头，连接头贯穿过衬板，该种硅片盛放盒通过排列布置的硅片框与分隔页板，方便硅片堆叠放置的同时，通过抬升架的抬升方便光刻机的取料抓取，提高了该盛放盒的适用性。