一种光刻机硅片盛放盒
专利申请权、专利权的转移
摘要
本实用新型公开一种光刻机硅片盛放盒,属于光刻机技术领域;包括盒体边框;盒体边框中部焊接有窗板架,窗板架上端固定连接有窗板,窗板与盒体边框上端边缘卡接,窗板表面开槽设置有窗槽;盒体边框内侧嵌入设置有抬升架,抬升架上表面排列有若干个硅片框,硅片框之间相邻设置有分隔页板,抬升架底端嵌接有衬板;盒体边框底端中部固定有抬升座,抬升座下端贯穿设置有轴头,轴头上端固定有套轴轴节,套轴轴节上端固定有螺杆,螺杆上端螺纹连接有连接头,连接头贯穿过衬板,该种硅片盛放盒通过排列布置的硅片框与分隔页板,方便硅片堆叠放置的同时,通过抬升架的抬升方便光刻机的取料抓取,提高了该盛放盒的适用性。
基本信息
专利标题 :
一种光刻机硅片盛放盒
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021017693.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-06-05
授权号 :
CN212905894U
授权日 :
2021-04-06
发明人 :
不公告发明人
申请人 :
徐一鸣
申请人地址 :
广东省深圳市宝安区福海街道新和社区华达村五巷9号
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202021017693.2
主分类号 :
G03F7/20
IPC分类号 :
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2021-09-07 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : G03F 7/20
登记生效日 : 20210826
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 徐一鸣
变更后权利人 : 四川南光真空科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 518000 广东省深圳市宝安区福海街道新和社区华达村五巷9号
变更后权利人 : 610000 四川省成都市成华区东三环路二段龙潭工业园华泰路39号
登记生效日 : 20210826
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 徐一鸣
变更后权利人 : 四川南光真空科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 518000 广东省深圳市宝安区福海街道新和社区华达村五巷9号
变更后权利人 : 610000 四川省成都市成华区东三环路二段龙潭工业园华泰路39号
2021-04-06 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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