本实用新型公开了一种光刻机硅片台双工位交换装置，包括底座，所述底座底部两端设有两个立架，两个立架之间设有水平设置的滑杠。电机架将电机和滑座连接为一个整体，进行齿轮传动时，两个滑座可同步移动，一个滑座移动至工作位，另一个滑座远离工作位，实现工作位切换，此时，远离工作位的滑座可准备对准等辅助工作，提高工作效率；需要对工位台的高度位置进行调节，此时，工位台底部连接有螺杆，螺杆与滑座螺纹连接，通过转动螺杆，可实现螺杆上下移动，进而实现对滑座高度调节，提高其适用性；储油瓶内润滑油在重力作用下会充满储油槽，当润滑套移动时，储油槽内的润滑油会均匀涂在滑杠上，实现无间断润滑。