用于掩膜版清洗机的静电消除装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于掩膜版清洗机的静电消除装置，包括清洗机，清洗机包括壳体和设置在壳体下方的毛刷，毛刷包括刷盘和设置在刷盘上的刷毛，壳体内设置有电机和转轴，电机通过转轴与刷盘连接，还包括导电杆，与转轴摩擦连接，用于传导刷盘上的电荷；导电线，布置在壳体上，一端接地，另一端与导电杆连接；所述刷盘和转轴由导电材料制成；本实用新型将传统的刷盘和转轴替换为导电材料，并设置导电杆，刷毛上的电荷依次通过刷盘和转轴传导在导电杆上，再通过导电线将电荷引地，从而消除了毛刷上的静电，避免了静电击伤掩膜版，提高了产品良率；导电杆与转轴摩擦连接是指转轴在转动的过程中与导电杆相连接，从而可将转轴上的电荷引到导电杆上。
基本信息
专利标题 ：
用于掩膜版清洗机的静电消除装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020431570.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-30
授权号 ：
CN211406404U
授权日 ：
2020-09-01
发明人 ：
林伟孙多卫严超
申请人 ：
成都路维光电有限公司
申请人地址 ：
四川省成都市高新区康强三路1666号
代理机构 ：
成都行之专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
余翔
优先权 ：
CN202020431570.7
主分类号 ：
H05F3/02
IPC分类号 ：
H05F3/02 B08B1/04 B08B13/00
法律状态
2020-09-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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