掩膜装置

授权

摘要

本实用新型涉及显示面板曝光技术领域，公开了一种掩膜装置，解决了无需取下掩膜架，则可实现掩膜板的直接更换。本实用新型包括：掩膜架，设有用于吸附待加工件的真空吸附孔；框架，与所述掩膜架转动连接，使所述掩膜架在所述框架内翻转。本实用新型利用掩膜架与框架的转动连接，可使掩膜架直接在框架上实现翻转，则在更换待加工件时，无需将掩膜架取下，只要翻转掩膜架，即可在框架上对待加工件进行更换，不仅简化了待加工件更换的操作流程，同时还可避免对掩膜架造成污染，避免了影响成品质量，从而提高了成品合格率。

基本信息

专利标题：

掩膜装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921634873.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-09-27

授权号：

CN210514931U

授权日：

2020-05-12

发明人：

王乡

申请人：

珠海迈时光电科技有限公司

申请人地址：

广东省珠海市香洲区南屏科技工业园屏东六路1号9号楼第二层205、206房

代理机构：

广州嘉权专利商标事务所有限公司

代理人：

叶琦炜

优先权：

CN201921634873.2

主分类号：

G03F1/64

IPC分类号：

G03F1/64