用于等离子室的边缘环
授权
摘要
本实用新型提供一种用于等离子室的边缘环，所述边缘环被配置为沿衬底支撑件的外围放置。所述边缘环的顶部包括：内部台阶区域；倾斜区域；外部弯曲区域；具有顶部环形表面的中间顶部区域。所述中间顶部区域在所述外部弯曲区域和所述倾斜区域之间延伸。所述倾斜区域具有环状的成角度的表面并且设置在所述中间顶部区域和所述内部台阶区域之间。所述边缘环的底部包括底部环形表面，所述底部环形表面具有从所述底部环形表面形成到所述边缘环中的多个螺钉插孔件。
基本信息
专利标题 ：
用于等离子室的边缘环
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020516038.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-10
授权号 ：
CN212230390U
授权日 ：
2020-12-25
发明人 ：
迈克尔·C·凯洛格亚当·克里斯多夫·梅斯阿列克谢·马拉霍塔诺夫约翰·霍兰德陈志刚菲力克斯·莱布·科扎克维奇亚历山大·马丘什金
申请人 ：
朗姆研究公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
上海胜康律师事务所
代理人 ：
李献忠
优先权 ：
CN202020516038.5
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32 H01L21/67
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2020-12-25 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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