用于等离子室的边缘环
授权
摘要
本实用新型提供一种用于等离子体室的边缘环，所述边缘环被配置为沿着衬底支撑件的外围放置，所述边缘环的特征在于顶部环形表面(102)；顶部止挡表面(720)；在所述顶部环形表面和所述顶部止挡表面之间的圆形成角度的表面(710)；底部环形表面(302)，其具有形成在其中的多个螺钉插孔件(402A)。
基本信息
专利标题 ：
用于等离子室的边缘环
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022865060.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-10
授权号 ：
CN214411118U
授权日 ：
2021-10-15
发明人 ：
迈克尔·C·凯洛格亚当·克里斯多夫·梅斯阿列克谢·马拉霍塔诺夫约翰·霍兰德陈志刚菲力克斯·莱布·科扎克维奇亚历山大·马丘什金
申请人 ：
朗姆研究公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
上海胜康律师事务所
代理人 ：
李献忠
优先权 ：
CN202022865060.3
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32 H01L21/67
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2021-10-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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