一种芯片表面用清洁设备
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摘要

本实用新型涉及芯片生产技术领域,尤其涉及一种芯片表面用清洁设备,包括壳体,所述壳体内壁的两侧均水平焊接有滑轨,滑轨的滑槽内滑动配合有燕尾滑块,燕尾滑块之间焊接有支架,壳体一侧的中部开设有螺纹通孔,且螺纹通孔内旋转配合有T形螺纹杆,T形螺纹杆螺纹部的一端与支架的垂直部安装固定,支架的水平部插设有旋转轴,每个支架通过旋转轴旋转配合有第一静电辊轴和第二静电辊轴,壳体内壁的一侧通过螺钉倾斜安装固定有传送带,壳体一侧的下部开设有通槽和收集盒。本实用新型中,第一静电辊轴和第二静电辊轴同时对芯片进行清洁,很好的对芯片的表面进行清洁,提高的芯片生产的效率,大大满足了人们的实用需求。

基本信息
专利标题 :
一种芯片表面用清洁设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020536985.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-04-13
授权号 :
CN212018794U
授权日 :
2020-11-27
发明人 :
朱延政
申请人 :
江苏止芯科技有限公司
申请人地址 :
江苏省南京市秦淮区永智路6号南京白下高新技术产业开发区四号楼A栋1104-4室
代理机构 :
北京盛凡智荣知识产权代理有限公司
代理人 :
尚欣
优先权 :
CN202020536985.0
主分类号 :
B08B6/00
IPC分类号 :
B08B6/00  B08B13/00  H01L21/67  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B6/00
用静电法清洁
法律状态
2020-11-27 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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