一种大功率多波段曝光光源

授权

摘要

本实用新型公开了一种大功率多波段曝光光源，包括多波段UV‑LED光源模组、激光光源模组、合光器、整形器件组、光学积分器和曝光组件；以多波段UV‑LED环形光斑和激光光斑耦合的方式实现台面的平行光曝光，可以实现台面不同波段的大功率输出，能够显著提升曝光的质量，还可以实现不同紫外工作波段的快速切换，对于台面不同类型光刻胶及不同曝光能量的需求具有更好的适用性。

基本信息

专利标题：

一种大功率多波段曝光光源

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020666328.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-04-27

授权号：

CN211979419U

授权日：

2020-11-20

发明人：

张博李康王艳军陈龙飞刘琴

申请人：

河南百合特种光学研究院有限公司

申请人地址：

河南省新乡市红旗区新东大道166号

代理机构：

新乡市平原智汇知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

杨杰

优先权：

CN202020666328.8

主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

G03F7/20