一种不合格硅片检测装置

授权

摘要

本实用新型涉及太阳能电池生产领域，一种不合格硅片检测装置，硅片（3）上方和下方分别布有成均匀点阵结构的多块圆形的导电片（2），硅片（3）上方的每块导电片（2）轴心线都与硅片（3）下方的一块导电片（2）的轴心线重合，轴心线重合的两块导电片（2）构成一个平行板电容器，每个平行板电容器都连接一个电容检测装置，电容检测装置连接电脑，将实时检测到的电容值传送到电脑，成点阵结构的电容的电容值变化情况，反应着制绒、扩散、刻蚀过程是否均匀。

基本信息

专利标题：

一种不合格硅片检测装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020678544.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-04-28

授权号：

CN212483693U

授权日：

2021-02-05

发明人：

申开愉李雪方郭卫杨飞飞吕涛郭丽梁玲

申请人：

山西潞安太阳能科技有限责任公司

申请人地址：

山西省长治市郊区漳泽新型工业园区

代理机构：

太原市科瑞达专利代理有限公司

代理人：

李富元

优先权：

CN202020678544.4

主分类号：

G01R27/26

IPC分类号：

G01R27/26 G01R31/26 H01L21/66