一种硅片检测装置
授权
摘要
本实用新型的一种硅片检测装置，涉及硅片检测应用技术领域，包括检测箱、第一输送履带和第二输送履带，检测箱内设置工业线阵红外相机，第一输送履带和第二输送履呈平行设置，第一输送履带和第二输送履带上部分之间设置背景板，背景板位于工业线阵红外相机的正下方，背景板的长度大于硅片的宽度，背景板上端面设有分别与第一输送履带、第二输送履带宽度厚度相适配的凹槽，且第一输送履带、第二输送履带上端面的高度与背景板的高度齐平，第一输送履带、第二输送履带和背景板均采用黑色不反光材质，平整的黑色平面可以为红外相机采集到纯黑的背景，而且由于皮带连贯的运输硅片，硅片不会发生颠簸，硅片部分的成像效果更佳。
基本信息
专利标题 ：
一种硅片检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020138089.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-01-21
授权号 ：
CN211578774U
授权日 ：
2020-09-25
发明人 ：
徐明
申请人 ：
南京注势智能科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省南京市栖霞区马群街道紫东路2号紫东国际创意园C8栋101室
代理机构 ：
南京中盟科创知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
孙丽君
优先权 ：
CN202020138089.9
主分类号 ：
H01L31/18
IPC分类号 ：
H01L31/18 H01L21/66
法律状态
2020-09-25 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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