用于化学气相沉积装置中双面生长垂直石墨烯的石英舟
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于化学气相沉积装置中双面生长垂直石墨烯的石英舟。所述的石英舟结构包括石英舟主体、四个支撑柱、悬空舟和固定杆。四个支撑柱用来支撑悬空舟部分;悬空舟中有一个凹槽,凹槽底部留有一个中空的缝隙,可允许金属箔穿过;固定杆用于固定穿过悬空舟缝隙后弯折的部分。这种石英舟可使金属箔垂直悬挂在化学气相沉积装置的石英管中,实现金属箔两面在垂直石墨烯生长过程中所处的氛围完全一致,可避免常规石英钟用于生长垂直石墨烯时上下两面的形貌差异。同时可以防止厚度极薄的金属箔在高温时受热弯曲的问题。
基本信息
专利标题 :
用于化学气相沉积装置中双面生长垂直石墨烯的石英舟
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020741377.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-05-08
授权号 :
CN212222428U
授权日 :
2020-12-25
发明人 :
张亮王薇沈龙汪小知
申请人 :
杭州英希捷科技有限责任公司
申请人地址 :
浙江省杭州市萧山区萧山经济技术开发区启迪路198号C座
代理机构 :
杭州融方专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
沈相权
优先权 :
CN202020741377.3
主分类号 :
C01B32/186
IPC分类号 :
C01B32/186
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C01
无机化学
C01B
非金属元素;其化合物
C01B32/00
碳;其化合物
C01B32/15
纳米级碳材料
C01B32/182
石墨烯
C01B32/184
制备
C01B32/186
化学气相沉积
法律状态
2020-12-25 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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