一种垂直式热丝CVD沉积系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种垂直式热丝CVD沉积系统，包括：一组电极轨道、挂轨、热丝下固定轨、热丝和挂钩，挂轨设于电极轨道的两端，热丝下固定轨与电机轨道同向设于两挂轨之间，热丝设于电极轨道和热丝下固定轨之间，上端与电极轨道连接，下端与热丝下固定轨连接，所述挂钩设于两电极轨道之间。本实用新型结构简单、设计合理，与传统水平式CVD法相比；垂直式热丝架的热丝均匀的分布在基板两侧，可根据样品厚度和大小自由调节，双面大面积同时涂层；极大提高了金刚石膜的涂层的自由度和生长速度，降低生产成本，提高了生产效率；也可防止因为基板和涂层热膨胀系数的不匹配而导致涂层后的基板不平整。
基本信息
专利标题 ：
一种垂直式热丝CVD沉积系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202023319336.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-12-31
授权号 ：
CN216550697U
授权日 ：
2022-05-17
发明人 ：
王偲偲许晶
申请人 ：
太仓市盛达风机制造有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市太仓市沙溪镇松南工业开发区
代理机构 ：
苏州市方略专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
刘燕娇
优先权 ：
CN202023319336.4
主分类号 ：
C23C16/46
IPC分类号 ：
C23C16/46 C23C16/27
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/46
以加热基体的方法为特征的
法律状态
2022-05-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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