一种CVD沉积系统的热丝夹具

授权

摘要

本实用新型公开一种CVD沉积系统的热丝夹具，包括至少2个热丝固定圈、支撑杆和弹性元件，热丝固定圈之间平行设置，热丝固定圈的中心部分通过支撑杆连接，热丝固定圈包括固定圈本体、固定杆和支撑杆固定座，支撑杆固定座位于固定圈本体的中心处，固定杆设有若干个，固定杆连接固定圈本体和支撑杆固定座，热丝固定圈的固定圈本体设有多个均匀圆周分布的热丝固定孔，热丝的一端固定在顶部的热丝固定圈的热丝固定孔上，热丝的另一端穿过中间的热丝固定圈的热丝固定孔并和弹性元件的一端连接，热丝倾斜设置，热丝之间平行,本实用新型实现了热丝不下垂，减少了热丝的断裂，提高热丝的使用寿命，同时也提高了温度场的均匀性和降低生产成本。

基本信息

专利标题：

一种CVD沉积系统的热丝夹具

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021488668.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-07-25

授权号：

CN213013083U

授权日：

2021-04-20

发明人：

王偲偲许晶

申请人：

太仓市盛达风机制造有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市太仓市沙溪镇松南工业开发区

代理机构：

上海诺衣知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

衣然

优先权：

CN202021488668.2

主分类号：

C23C16/27

IPC分类号：

C23C16/27 C23C16/44