吸收性缺陷单光束光热测量装置
授权
摘要
一种吸收性缺陷单光束光热测量装置，该装置包括共光路型和非共光路型结构。本实用新型光路结构简单，便于安装调试。测量结果稳定，避免环境振动、样品倾斜导致的测量信号异常。通过探测光斑边缘的光束的功率变化，系统的测量灵敏度得到显著提升。
基本信息
专利标题 ：
吸收性缺陷单光束光热测量装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020764330.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-11
授权号 ：
CN212646516U
授权日 ：
2021-03-02
发明人 ：
刘世杰倪开灶邵建达王微微徐天柱李英甲鲁棋
申请人 ：
中国科学院上海光学精密机械研究所;上海恒益光学精密机械有限公司
申请人地址 ：
上海市嘉定区清河路390号
代理机构 ：
上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
张宁展
优先权 ：
CN202020764330.9
主分类号 ：
G01N21/95
IPC分类号 ：
G01N21/95 G01N21/17
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
G01N21/88
测试瑕疵、缺陷或污点的存在
G01N21/95
特征在于待测物品的材料或形状
法律状态
2021-03-02 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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