多光束膜厚测量头
专利权的终止
摘要
一种安装在显微镜上使用的多光束膜厚测量头。它是利用单色光的多次反射、干涉而产生鲜明的干涉条纹，根据条纹的偏移量来确定薄膜厚度。该测量头可以方便的测量1.5μm以下的非透明膜、透明膜的厚度。由于它是用光波的波长为尺子，来测量薄膜厚度，加之多光束干涉，使得干涉条纹变的十分明亮，细窄，降低了瞄准误差，所以测量精度高。在一般情况下，精度可达50—100。
基本信息
专利标题 ：
多光束膜厚测量头
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN86210508.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
1986-12-22
授权号 ：
CN86210508U
授权日 ：
1987-12-05
发明人 ：
周佩瑶姜恩永
申请人 ：
天津大学
申请人地址 ：
天津市南开区卫津路七里台
代理机构 ：
天津大学专利代理事务所
代理人 ：
张强
优先权 ：
CN86210508.0
主分类号 ：
G01B9/04
IPC分类号 ：
G01B9/04 G01B11/02
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B9/00
组中所列的及以采用光学测量方法为其特征的仪器
G01B9/04
测量显微镜
法律状态
1990-05-23 ：
专利权的终止
1988-06-15 ：
授权
1987-12-05 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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