一种化学研磨液氮压的供应装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种化学研磨液氮压的供应装置，具体涉及半导体制造领域。该装置主要包括骨架、操控面板、排气装置、化学研磨液混合供应装置、液泵、研磨液氮压储存容器、压力监测表。骨架是由不锈钢方钢和聚苯烯的板材焊接及机械连接而成；排气装置是用于释放研磨液氮压储存容器的压力，起到稳压的作用；化学研磨液混合供应装置是用于生产现场研磨液配比及临时储存；液泵用于输送储存在化学研磨液混合供应装置的研磨液。本实用新型提供了一种通过压缩氮气产生动力的输送装置，解决了半导体加工时研磨液的供应流量输出不稳定的问题，使研磨液的供应变平稳、设备故障率低、维护简单。
基本信息
专利标题 ：
一种化学研磨液氮压的供应装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020891753.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-25
授权号 ：
CN212762914U
授权日 ：
2021-03-23
发明人 ：
杨凯杨利斌
申请人 ：
上海吉啸电子科技有限公司
申请人地址 ：
上海市奉贤区六团公路310号1幢102室
代理机构 ：
北京久维律师事务所
代理人 ：
邢江峰
优先权 ：
CN202020891753.7
主分类号 ：
B24B57/02
IPC分类号 ：
B24B57/02 F17C13/02 F17C1/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B57/00
磨削抛光或研磨剂的进料，加料，分选或回收设备
B24B57/02
流体的，喷射的，雾化的或液化的磨削剂，抛光剂，或研磨剂的送进
法律状态
2021-03-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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