一种半自动研磨液的供应装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种半自动研磨液的供应装置，具体涉及半导体制造领域。该装置主要包括外壳、排风装置、电控箱、操控屏、研磨液存储桶、电控搅拌装置、隔膜液泵等相关连接阀门和管道。电控搅拌装置用于研磨液存储桶定时搅拌防止研磨液中悬浮物质上下分层结晶；隔膜液泵用于研磨液存储桶内的循环和研磨液的供应输出。本实用新型提供了半导体制造企业提供一种操作及保养简单、成本低廉而且占用场地面积较小等特性的装置，其次客户可以根据自身企业的产能需求来自行选择研磨液的供应模块数量，在满足企业实际发展需要的同时，也灵活的解决了因购买成套化学研磨液的供应系统而带来的资金压力。
基本信息
专利标题 ：
一种半自动研磨液的供应装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020891779.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-25
授权号 ：
CN213352080U
授权日 ：
2021-06-04
发明人 ：
罗保兴杨凯
申请人 ：
上海吉啸电子科技有限公司
申请人地址 ：
上海市奉贤区六团公路310号1幢102室
代理机构 ：
北京久维律师事务所
代理人 ：
邢江峰
优先权 ：
CN202020891779.1
主分类号 ：
B24B57/02
IPC分类号 ：
B24B57/02
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B57/00
磨削抛光或研磨剂的进料，加料，分选或回收设备
B24B57/02
流体的，喷射的，雾化的或液化的磨削剂，抛光剂，或研磨剂的送进
法律状态
2021-06-04 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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