一种大功率微波等离子体粉体处理装置

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摘要

本实用新型公开了一种大功率微波等离子体粉体处理装置，包括具有腔体的圆柱形金属壳体、钟罩和流化床杯，所述钟罩收容于所述腔体，所述钟罩的底端开口处通过O形胶圈密封形成反应室，所述流化床杯收容于所述反应室并穿过O形胶圈伸出反应室外；所述腔体和所述钟罩构成钟罩式微波等离子体源；所述金属壳体与其上方开口的上法兰和下方开口的短路盘共同构成微波谐振腔；所述装置还包括矩形波导和微波天线，所述矩形波导通过所述上法兰与所述金属壳体连接，所述微波天线穿过所述矩形波导伸入所述腔体。本实用新型提供的技术方案，扩大了处理规模和承载能力，实现大功率微波等离子体粉体处理，提升处理效率，提高了处理品质，适合大规模工业化生产。

基本信息

专利标题：

一种大功率微波等离子体粉体处理装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020931755.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-05-28

授权号：

CN212441165U

授权日：

2021-02-02

发明人：

全峰蒋礼刘望宏

申请人：

深圳优普莱等离子体技术有限公司

申请人地址：

广东省深圳市宝安区石岩街道塘头社区石岩街道松白路中运泰科技工业厂区厂房七八层东侧

代理机构：

深圳市创富知识产权代理有限公司

代理人：

钟文翰

优先权：

CN202020931755.4

主分类号：

B01J19/12

IPC分类号：

B01J19/12 B01J19/00 B01J8/24