一种双腔室石英管结构
专利申请权、专利权的转移
摘要

本实用新型公开了一种双腔室石英管结构,包括石英工艺管、炉门石英腔室、环形法兰、工艺气体进气管、尾排管、炉门腔室进气管和内外双密封炉门,所述石英工艺管的左端设置有炉门石英腔室,所述石英工艺管的左端设置有环形法兰,所述石英工艺管的内部固定安装有工艺气体进气管,所述石英工艺管的右端固定安装有尾排管,所述炉门石英腔室的顶部固定安装有炉门腔室进气管,所述炉门石英腔室的左侧设置有内外双密封炉门。本实用新型通过对常用的工艺管的结构进行改进使得该石英管保证在工艺过程中的气体反应物不在管口处存留,炉口清洁,容易与内外双密封炉门的密封状态保持良好,且其结构简单,具有广阔的发展空间以及较高的推广价值。

基本信息
专利标题 :
一种双腔室石英管结构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020966201.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-06-01
授权号 :
CN212253641U
授权日 :
2020-12-29
发明人 :
张海林滕玉朋
申请人 :
青岛赛瑞达电子装备股份有限公司
申请人地址 :
山东省青岛市李沧区北崂路1022号F楼
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202020966201.8
主分类号 :
F27B17/00
IPC分类号 :
F27B17/00  F27D1/18  
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F27
炉;窑;烘烤炉;蒸馏炉
F27B
一般馏炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉;开式烧结设备或类似设备
F27B
一般馏炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉;开式烧结设备或类似设备
F27B17/00
不包含在F27B 1/00至F27B 15/00中任一组的炉
法律状态
2021-12-24 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : F27B 17/00
登记生效日 : 20211210
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 青岛赛瑞达电子装备股份有限公司
变更后权利人 : 赛瑞达智能电子装备(无锡)股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 266000 山东省青岛市李沧区北崂路1022号F楼
变更后权利人 : 214000 江苏省无锡市锡山区芙蓉中三路99号瑞云6座1楼东三个逗号众创空间
2020-12-29 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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