镀膜机的多功能镀膜筒体
授权
摘要
本实用新型公开了一种镀膜机的多功能镀膜筒体，包括内部带有加工腔的镀膜筒身以及铰接于镀膜筒身的镀膜筒盖，所述镀膜筒身上设有连通外界与加工腔的第一安装孔，所述第一安装孔内密封安装有位于加工腔内部的圆柱靶，所述镀膜筒身上设有连通外界与加工腔的第二安装孔，所述第二安装孔内密封安装有弧源装置。本实用新型具有以下优点和效果：本实用新型一机多用，从而降低工厂的设备投入成本。
基本信息
专利标题 ：
镀膜机的多功能镀膜筒体
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021024806.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-05
授权号 ：
CN212505046U
授权日 ：
2021-02-09
发明人 ：
赵中红
申请人 ：
温州驰诚真空机械有限公司
申请人地址 ：
浙江省温州市龙湾区永兴街道兴腾路4号
代理机构 ：
温州名创知识产权代理有限公司
代理人 ：
程嘉炜
优先权 ：
CN202021024806.1
主分类号 ：
C23C14/35
IPC分类号 ：
C23C14/35
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的，例如磁控溅射
法律状态
2021-02-09 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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