一种可气体保护的扫描电镜样品台
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要

本实用新型公开了一种可气体保护的扫描电镜样品台,包括盒体、盒盖和软臂,盒体为圆形或者矩形,盒盖在边缘处有突出,在盒盖与盒体接触面附有粘贴胶,可与盒体紧密粘贴,以实现盒内与盒外气体隔绝;软臂可与盒盖加工成一体,或者通过粘贴或者其他方式实现与盒盖突出处固定。样品台通过气体保护,实现了样品与空气的隔绝。在样品台置于样品交换仓后,通过交换仓的仓门与仓体夹住并固定软臂,待交换仓到达仪器设定的真空度后打开通道阀门将样品推入样品仓。本实用新型使用气体保护的样品台工艺简单,易于制作且成本低廉。

基本信息
专利标题 :
一种可气体保护的扫描电镜样品台
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021135065.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-06-18
授权号 :
CN213042869U
授权日 :
2021-04-23
发明人 :
周宏敏刘振邦付圣权李明
申请人 :
中国科学技术大学
申请人地址 :
安徽省合肥市包河区金寨路96号
代理机构 :
北京科迪生专利代理有限责任公司
代理人 :
顾炜
优先权 :
CN202021135065.4
主分类号 :
H01J37/20
IPC分类号 :
H01J37/20  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管,例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/20
物体或材料的支承或定位装置;与支架相联的光阑或透镜的调整装置
法律状态
2021-07-06 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : H01J 37/20
变更事项 : 专利权人
变更前 : 中国科学技术大学
变更后 : 中国科学技术大学
变更事项 : 地址
变更前 : 230026 安徽省合肥市包河区金寨路96号
变更后 : 230022 安徽省合肥市蜀山区黄山路443号
2021-04-23 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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